高真空管式退火爐

發(fā)布時(shí)間: 2024-12-05 21:37:25    瀏覽次數(shù):1414

高真空管式退火爐是一種能夠在高真空或受控氣氛環(huán)境下進(jìn)行高溫處理的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、冶金、半導(dǎo)體、電子等領(lǐng)域。這種爐子通過(guò)精確控制溫度和環(huán)境條件,能夠在1500℃的高溫下實(shí)現(xiàn)材料的退火、燒結(jié)、合成等工藝。高真空環(huán)境可以有效防止氧化和其他不良反應(yīng),確保樣品在純凈條件下進(jìn)行熱處理。

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設(shè)備特點(diǎn):

1.高溫能力

?最高溫度:最高工作溫度可達(dá)1500℃,部分型號(hào)可達(dá)到更高溫度。

?快速加熱:采用高效硅碳棒為加熱元件,確??焖偕郎兀s短加熱時(shí)間。

?溫度均勻性:爐內(nèi)溫度分布均勻,確保樣品在任何位置都能獲得一致的溫度環(huán)境。

2. 高真空環(huán)境

?真空度:能夠達(dá)到10^-5 Pa甚至更高的真空度,確保無(wú)氧環(huán)境下的高溫處理。
?真空計(jì):實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔室內(nèi)的真空度,確保達(dá)到所需的真空水平。
3.
氣氛控制

?多種氣氛環(huán)境:支持空氣、真空、惰性氣體(如氮?dú)?、氬氣)、還原性氣體等多種氣氛環(huán)境。
?氣氛控制系統(tǒng):配備先進(jìn)的氣氛控制系統(tǒng),可以精確控制氣體流量和比例,確保氣氛環(huán)境的穩(wěn)定性和一致性。

4. 精確控制

?PID溫控系統(tǒng):采用先進(jìn)的PID溫控系統(tǒng),支持多段程序控制,確保溫度控制精度高,可重復(fù)性好。
?實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):配備高精度溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和記錄爐內(nèi)溫度變化。

?超溫保護(hù):內(nèi)置超溫保護(hù)功能,防止因溫度失控導(dǎo)致的安全事故。

5. 操作便捷

?觸摸屏控制界面:配備觸摸屏控制界面,支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程監(jiān)控,操作簡(jiǎn)便。
?程序存儲(chǔ):可以設(shè)置和保存多個(gè)加熱程序,方便重復(fù)使用。
6.安全設(shè)計(jì)

?多重保護(hù)措施:內(nèi)置超溫保護(hù)、過(guò)流保護(hù)等多重安全保護(hù)措施,確保操作安全。

?緊急停機(jī)功能:可以在異常情況下迅速切斷電源,保障人員和設(shè)備的安全。

?壓力釋放閥:配備壓力釋放閥,確保在超壓情況下自動(dòng)釋放壓力,防止事故發(fā)生。

?泄漏檢測(cè):配備壓力和氣體泄漏檢測(cè)裝置,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泄漏情況,確保安全。

設(shè)備名稱(chēng)

高真空管式退火爐

規(guī)格型號(hào)

NBD-O1500-100TP2DZY-N

供電電源

三相380V 50HZ

額定功率

15KW

傳感器類(lèi)型

單鉑銠 S型熱電偶

Tmax

1500℃

額定溫度

1450℃

溫區(qū)數(shù)量

單溫雙控

升溫速率

1℃/H-20℃/Min

爐膛空間

L640*H160*W140mm

爐管材質(zhì)及尺寸

高純剛玉 φ100*1200mm

質(zhì)量流量計(jì)

S500 5000SCCM φ6.35雙卡套 氮?dú)鈽?biāo)定

進(jìn)氣口規(guī)格

φ6.35雙卡套接頭

出氣口規(guī)格

φ8寶塔接頭

爐體尺寸

長(zhǎng)**mm  1400*1430*900mm

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線(xiàn)設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線(xiàn),設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線(xiàn)燒結(jié);
3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄;
4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測(cè)設(shè)備狀態(tài);5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

溫度精度

±1℃

加熱元件


抗酸耐腐性能優(yōu)越的高純硅碳棒

密封系統(tǒng)

真空度:10Pa(機(jī)械泵)

壓力測(cè)量與監(jiān)控

采用機(jī)械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時(shí)具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力。

弱腐蝕性氣體預(yù)熱器

(可選配)


通體采用316L材料,對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿(mǎn)足特殊的工藝需求,最高溫度達(dá)600℃。


凈重

350kg

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;

2、爐膛連續(xù)使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正常現(xiàn)象,不影響設(shè)備的正常使用;

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件)

應(yīng)用領(lǐng)域:

1. 材料科學(xué):用于金屬、陶瓷、玻璃等材料的燒結(jié)和退火。

2. 冶金:用于鋼鐵、鋁合金、銅合金等的熱處理。

3. 半導(dǎo)體:用于半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng)、摻雜和退火。

4. 電子工業(yè):用于電子元件的制造和測(cè)試。

5. 科研與教育:適用于高校、研究所等科研單位進(jìn)行材料科學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域的研究和教學(xué)實(shí)驗(yàn)。

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