發(fā)布時間： 2024-12-17 17:12:47 瀏覽次數(shù)：684
設備簡介：
真空氣氛爐是一種專門設計用于在高真空或特定氣氛環(huán)境下進行材料處理、熱處理和化學反應的設備，廣泛應用于冶金、半導體制造、新材料研發(fā)、化工等領域。該設備通過精確控制氣氛條件（如真空、惰性氣體、還原性氣體等）和溫度，確保材料在無污染條件下完成高效的處理過程。真空氣氛爐能夠顯著提高材料的質量和性能，適用于對環(huán)境要求極高的實驗和生產過程。
應用領域
1. 冶金：用于金屬粉末燒結、合金化處理等。
2. 半導體制造：用于電子元件的制造和測試，如硅片退火、擴散等。
3. 新材料研發(fā)：用于新型材料的合成和處理，如納米材料、功能陶瓷等。
4. 化工：用于催化劑制備、化學反應等。
5. 科研與教育：適用于高校、研究所等科研單位進行材料科學、化學工程等領域的研究和教學實驗。
 | 設備特點： 1. 高純度環(huán)境 ?高效真空泵：可選配高效真空泵系統(tǒng)，能夠在短時間內將爐內抽至高真空狀態(tài)（通常可達10^-6 Torr），確保處理過程中無氧無污染。 ?氣氛控制系統(tǒng)：可以處理各種氣氛環(huán)境，如真空、惰性氣體（氬氣、氮氣）、還原性氣體（氫氣）等，滿足不同工藝需求。 2.均勻加熱 ?溫控精度：采用先進的PID溫控系統(tǒng)，支持多段程序控制，確保溫度控制精度高，可重復性好。 ?溫度均勻性：通過優(yōu)化加熱元件布局和溫控系統(tǒng)，確保爐內溫度分布均勻，避免局部過熱或冷點。 3. 精準氣氛控制 ?氣氛切換裝置：允許在不同氣氛條件下進行實驗，如從一種氣氛切換到另一種氣氛。 ?氣體流量控制器：用于精確控制氣體流量和比例，確保氣氛環(huán)境的穩(wěn)定性和一致性。 ?壓力調節(jié)：部分型號配備壓力調節(jié)裝置，確保氣氛環(huán)境的壓力保持在設定范圍內。 4. 安全設計 ?多重保護措施：內置超溫保護、過流保護、緊急停機按鈕等多重安全保護措施，確保操作安全。 ?泄漏檢測：配備壓力和氣體泄漏檢測裝置，實時監(jiān)測泄漏情況，確保安全。 ?防爆設計：對于需要使用易燃氣體（如氫氣）的情況，具備防爆設計，確保極端條件下的安全性。 5. 操作便捷 ?觸摸屏控制界面：配備觸摸屏控制界面，支持數(shù)據(jù)記錄和遠程監(jiān)控，操作簡便。 ?用戶友好：具有友好的用戶界面，易于操作和維護。 ?預設程序：提供多種預設加熱程序和氣氛條件，方便用戶根據(jù)具體需求選擇合適的工藝參數(shù)。 | |||||||
設備名稱 | 真空氣氛爐 | |||||||
規(guī)格型號 | VBF-1200（200*200*300） | |||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | |||||||
額定功率 | 45KW | |||||||
| 溫區(qū)數(shù)量 | 單溫單控 | |||||||
| 傳感器類型 | S型熱電偶φ8*300mm | |||||||
| 浮子流量計 | 20-200L/min | |||||||
| Tmax | 1300℃（使用溫度室溫下1200℃） | |||||||
| 爐膛材料 | 304不銹鋼板+鉬板 | |||||||
| 爐膛尺寸 | φ392*410mm | |||||||
| 有效工作尺寸 | 長200*高200*深300mm | |||||||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |||||||
| 真空泵 | BSV90 KF40接口（極限真空4Pa） | |||||||
| 分子泵 | 進氣口CF200，出氣口KF40（極限真空5*10^-6Pa） | |||||||
| 整機極限真空 | 6.7*10^-3Pa（空爐、冷態(tài)） | |||||||
爐體尺寸 | 長1835*高2040*深1625mm | |||||||
水冷機尺寸 | 長706*高1235*深1035mm | |||||||
控制系統(tǒng) |
| 1、燒結工藝曲線設置：動態(tài)顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結，實現(xiàn)無人值守燒結工藝曲線燒結； 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數(shù)據(jù)，并可導出實現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。 | ||||||
溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 |
| 鉬帶加熱爐膛 | ||||||
壓力測量與監(jiān)控 |
| 采用浮子流量計控制氣體流速，與設備集成為一體，且出廠前已進行漏氣測試工作。
| ||||||
供氣系統(tǒng) |  | 采用機械壓力表，表外殼為氣密型結構，能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。 | ||||||
凈重 | 約1215KG | |||||||
設備使用注意事項 | 1.設備使用時，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa，以防止壓力過大造成設備損壞； 2.真空下使用時，設備使用溫度不得超過800℃。 | |||||||
服務支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關產品處訂購更換件）。 | |||||||
