該尾氣裝置處理主要介質(zhì)

硅烷 SiH4、磷烷 PH3、鍺烷 GeH4、二氧化硅 SiO2、硼烷 B2H6、三氟化硼 BF3、一氧化二氮(笑氣)N2O、八氟環(huán)丁烷 C4F8、四氟化碳 CF4、四氯化鍺 GeCl4、四氯化硅 SiCl4、三氯氫硅 SiHCl3、氯氣 Cl2、三氯化硼 BCl3、四氯化碳 CCl4、氯化碳 CCl2、氟氣 F2、其它酸堿性尾氣硫化氫 H2S、氨氣 NH3、鹽酸 HCl、硫酸 H2SO4、二氧化硫 SO2、粉塵等及粉塵等。

風(fēng)機基本控制

尾氣處理裝置配套風(fēng)機 1 臺（無備用，不采用負(fù)壓穩(wěn)定變送器與變頻器聯(lián)動）。

水泵控制

尾氣處理裝置，磁力驅(qū)動泵 1 臺，水泵出水口配置過濾裝置等。

給排水控制

進水采用手動+自動方式補水，排液采用手動方式排液。

自動加藥控制

配 1 套自動加藥裝置，自動加藥裝置包含 PH 探頭、計量泵、信號傳送線、加藥桶（不帶攪拌）。設(shè)置 PH 值 4-6，通過 PH 計反饋信號給計量泵，往循環(huán)箱內(nèi)加藥或停止加藥動作，具體根據(jù)現(xiàn)場實際濃度情況進行設(shè)置、調(diào)整

安全控制

1、壓縮空氣在線安全控制：即連續(xù)在線通入壓縮空氣，促使硅烷尾氣加速自燃，防止硅烷積聚，壓縮空氣量 2500L/h，建議壓縮機排氣壓力不小于 7Bar。

2、氮氣保護安全控制：在有必要情況下或報警或緊急狀況下，緊急接入氮氣，稀釋保護硅烷氣體，降低風(fēng)險。

3、新風(fēng)補給安全控制：在應(yīng)急燃燒筒上設(shè)置新風(fēng)補給安全口，促使硅烷尾氣加速自燃，防止硅烷積聚（本項目不設(shè)此裝置）。

4、防靜電安全控制：尾氣洗滌裝置采用進口 PVC 材質(zhì)，無靜電產(chǎn)生。

5、濕法安全控制：工藝采用濕法噴淋處理，降低硅烷反應(yīng)產(chǎn)生熱量，能有效熄火作用，同時還有水解硅烷作用。

注：此系統(tǒng)可包系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)監(jiān)測在本地觸摸屏上完成，本地控制盤 PLC 預(yù)留TCP/IP 通訊接口，數(shù)據(jù)打包，預(yù)留風(fēng)機運行、故障干接點，用于與貴方設(shè)備聯(lián)動。

安全、穩(wěn)定性最高

1、 采用連續(xù)的壓縮空氣補給進風(fēng)形式，可使有硅烷 SiH4 等廢氣處理場景充分燃燒，若有氫氣 H2 存在則使系統(tǒng)在氫氣 H2 的安全極限范圍內(nèi)，保證系統(tǒng)的長久安全運行；

2、 強勁的多次高速霧化預(yù)清洗，保證除塵清洗凈化能力；

3、 強勁的排泄錐自生少許負(fù)壓，提高清洗凈化能力；

4、 采用燃燒預(yù)霧化噴淋段與凈化功能段獨立進水、噴淋、排液，實現(xiàn)無堵塞問題；

5、 無須停機即可清除處理量大時原進口設(shè)備產(chǎn)生的進氣口堵塞問題；

6、 獨立排液控制系統(tǒng)，配備替換外運儲液箱體，一鍵完成排液、進水工作內(nèi)容。

（7）100%排放達(dá)標(biāo)承諾

尾氣處理后滿足相應(yīng)國家標(biāo)準(zhǔn)國家GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》中相應(yīng)二級排放標(biāo)準(zhǔn)及GB30484-2013《電池工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》。

（8）廢水排放方便

設(shè)備運行一段時間須更換溶液，以便更好地吸收尾氣。一般 10-15 天換一次，建議初期看水液運行狀況，可一周或二周內(nèi)制定實施計劃，廢水理論上偏中性，排放應(yīng)接入污水管網(wǎng)。排放只需要將相應(yīng)排污閥門打開即可，操作方便。

（9）服務(wù)技術(shù)支持能力強

質(zhì)量保證：本工程主體設(shè)備質(zhì)保 12 個月。質(zhì)保期內(nèi)免費保修，除主體設(shè)備外的易損易耗件由需方自理，質(zhì)保期滿后成本保修。

本項目裝機及運行總功率：＜1.5kw。

（10） 占地面積

本項目占地面積及高度：長(L)1m×寬(W)1.5m×高(H)2.5m（可在室內(nèi)）。