恒壓控制系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間: 2025-05-08 18:59:19    瀏覽次數(shù):27

諾巴迪研發(fā)的恒壓控制系統(tǒng)采用的是變頻控制真空泵的原理,變頻真空泵可以自動控制抽氣速率,進(jìn)而獲得腔室壓力的精密測量和恒壓控制,與我司的管式爐/鍍膜儀等設(shè)備相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)CVD、PECVD等工藝壓力恒定的精確控制,整體采用國際先進(jìn)制造工藝,并且從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā),根據(jù)人體安全的角度進(jìn)行設(shè)計(jì),廣泛用于擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。


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設(shè)備特點(diǎn):

1、高真空恒壓;

2、獨(dú)有的恒壓控制系統(tǒng),采用變頻控制真空泵保證爐管內(nèi)維持一定的負(fù)壓;

3、控制穩(wěn)定可靠,操作方便,安全防護(hù)措施完善;

4、設(shè)備采用數(shù)顯真空計(jì)和壓力傳感器進(jìn)行檢測,保壓效果更好;

5、具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過手機(jī)、電腦遠(yuǎn)程對設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控,操作。

6、數(shù)據(jù)存儲功能,可保存重要參數(shù),時(shí)長達(dá)30天之久(每天開機(jī)8小時(shí))。

7、聯(lián)網(wǎng)功能,通過RJ45接口,采用TCP/IP協(xié)議,可以讓系統(tǒng)與上位機(jī)相連(上位機(jī)需安裝相應(yīng)軟件)。

設(shè)備名稱

恒壓控制系統(tǒng)

規(guī)格型號

NBD-HY-DRV16

供電電源

單相220V 50HZ

額定功率

1KW

真空泵型號

變頻真空泵 DRV16C單相 KF25(帶油霧過濾器)

壓力傳感器

0-100Kpa

數(shù)顯真空計(jì)

PG800K 1Pa-10000Pa

壓力控制范圍

200pa~700pa(數(shù)顯真空計(jì)控制200-1000ml/min的進(jìn)氣量下

測量精度

±1pa數(shù)顯真空計(jì)控制

壓力控制范圍

10Kpa-50Kpa壓力傳感器控制6L/min-17L/min的進(jìn)氣量下

測量精度

精度可控制范圍±1%壓力傳感器控制

設(shè)備占地尺寸

650*高420*深450mm

重量

40KG

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購更換件)。
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