主要特點(diǎn)

高效連續(xù)生產(chǎn)：

實(shí)現(xiàn)批量化、自動(dòng)化制造，顯著提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)能

工藝靈活性：

支持多種沉積技術(shù)（CVD/PVD/ALD等）和多步工藝串聯(lián)

材料多樣性：

可制備石墨烯、TMDs、hBN、MXene等多種二維材料 基材兼容性強(qiáng)支持聚合物膜、金屬箔、陶瓷涂層等多種柔性基材

智能控制：

全流程PLC控制，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯

節(jié)能環(huán)保：

精確供氣與廢氣回收系統(tǒng)，降低能耗與污染排放。

設(shè)備名稱

卷對(duì)卷二維材料制備系統(tǒng)

規(guī)格型號(hào)

NBD-O1200-100TP3D4ZY-N

供電電源

AC380V 50/60HZ

額定功率

10KW

溫區(qū)數(shù)量

三溫三控

控溫精度

±1℃

加熱元件

合金加熱絲

傳感器類型

K型熱電偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

長(zhǎng)期工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

爐膛溫區(qū)尺寸

Φ150*（200+400+200）mm

爐管規(guī)格

石英管Φ100*1600*3mm

?

?

四路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

電壓：AC220V/50HZ

功率：23W氮?dú)鈽?biāo)定（氣體自動(dòng)互換）

一路、二路、三路：S500 1000SCCM φ6.35雙卡套 ?2米空頭線 氟橡膠密封 氮?dú)鈽?biāo)定

四路：S500 3SLM ?φ6.35雙卡套 2米空頭線 氟橡膠密封 氮?dú)鈽?biāo)定

?

低真空機(jī)組

真空泵抽氣速率：≥4.4L/s

負(fù)壓恒壓范圍：13-12000pa

真空腔室極限真空度：＜5*10^-2torr（冷態(tài)下機(jī)械泵抽20min）

卷對(duì)卷機(jī)構(gòu)

?銅箔一卷重量約為2KG，寬度80mm，厚度0.04mm，其移動(dòng)速度為1-100mm/min可調(diào)；

爐體尺寸

長(zhǎng)2700*高1400*深900mm

爐體重量

約530KG

控制系統(tǒng)

?

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；

2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；

3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄；

4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)；

5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

設(shè)備細(xì)節(jié)

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

服務(wù)與支持