RTP快速退火爐
發(fā)布時(shí)間： 2017-11-15 22:35:09 瀏覽次數(shù)：23800
設(shè)備簡(jiǎn)介：
快速退火爐簡(jiǎn)稱(chēng) RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），不但擁有非常快的升溫速率，而且在燒結(jié)工藝運(yùn)行完結(jié)后，直接將試樣移動(dòng)至室溫下，實(shí)現(xiàn)物理狀態(tài)下的快速降溫。設(shè)備采用了內(nèi)管進(jìn)氣、外管出氣的氣路結(jié)構(gòu)，使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長(zhǎng)大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備。測(cè)溫元件直接和試樣接觸，保證試樣溫度的準(zhǔn)確性。
| 設(shè)備特點(diǎn)： 1、雙層鋼結(jié)構(gòu)； 2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，最大節(jié)約能源； 3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長(zhǎng)使用壽命； 4、氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度； 5、該設(shè)備是國(guó)家專(zhuān)利保護(hù)產(chǎn)品，專(zhuān)利號(hào)：CN201310005931.6。 | |||||||
產(chǎn)品型號(hào) | NBD-HR1200-110TI | |||||||
電氣規(guī)格 | AC380V 15KW | |||||||
可達(dá)溫度 | 1100 ℃（長(zhǎng)時(shí)間使用必須外接水冷裝置） | |||||||
長(zhǎng)期使用溫度范圍 | 300~1150℃ （連續(xù)使用必須外接水冷裝置） | |||||||
可達(dá)加熱速率 | 建議≤ 100 ℃/S | |||||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | |||||||
傳感器類(lèi)型 | S型單鉑銠 | |||||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | |||||||
反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸 | Φ100X200mm | |||||||
式樣有效空間 | 3.5" | |||||||
爐管尺寸 | Φ80*120mm | |||||||
控制系統(tǒng) |
| 1、可預(yù)存15條溫度曲線(xiàn)，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩； 2、實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； 3、NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話(huà)模式，非線(xiàn)性式樣溫度修正； 4、具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 | ||||||
弱腐蝕性氣體預(yù)熱器 （可選配） |  | 通體采用316L材料，對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理， 滿(mǎn)足特殊的工藝需求，最高溫度達(dá)600℃ | ||||||
溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 |
| 短波紅外線(xiàn)加熱孿管 | ||||||
密封系統(tǒng) |
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真空度：10Pa（機(jī)械泵） |
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壓力測(cè)量與監(jiān)控 |
| 采用數(shù)顯真空計(jì)，可使設(shè)備爐管內(nèi)的真空度顯示更加直觀，實(shí)驗(yàn)結(jié)果更加準(zhǔn)確。 | ||||||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害； | |||||||
| 凈重 | 90kg | |||||||
服務(wù)支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件）。 | |||||||
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