雙溫區(qū)管式爐1200℃

發(fā)布時間: 2019-01-21 11:08:20    瀏覽次數(shù):5587

設備簡介:

為滿足各類CVD工藝的要求,我們將多個溫區(qū)的控制儀表全部融合到了智能控制系統(tǒng)里,您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數(shù)設定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時,還可將多個溫區(qū)設定為同一溫度點,作為加長的單溫區(qū)使用。它延續(xù)了開啟式管式爐的經(jīng)典設計,美觀與實用同在!

產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品視頻
客戶應用案例

設備特點:

1. 雙層鋼結構;

2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節(jié)約能源;

3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命;

4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。

產(chǎn)品型號

NBD-O1200-50T2G

NBD-O1200-60T2G

NBD-O1200-80T2G

NBD-O1200-100T2G

電氣規(guī)格

AC220V ???2KW*2

可達溫度極限

1200 ℃(<1小時)

長期使用溫度范圍

300~1150℃

加熱速率

≤20℃/分鐘

加熱區(qū)長度

200mm*2(雙溫雙控:每個溫區(qū)均可獨立運行)

爐管尺寸

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

Φ100*1000mm

溫場分布

如圖所示:此為該設備溫區(qū)曲線圖(恒溫區(qū)尺寸:100mm*2

控制系統(tǒng)

1.可預存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩;

2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷;

3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正;

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統(tǒng)

真空度:≤10Pa(機械泵)

CVD實驗原理

采用雙溫區(qū)結構,通過對每個溫區(qū)單獨控制,可以營造不同的溫度梯度,便于各種CVD實驗。

供氣系統(tǒng)

采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,方便控制,且出廠前已進行漏氣測試工作。



采用機械壓力表,表外殼為氣密型結構,能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。

凈重

60KG

設備使用注意事項

1、設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;

2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;

3、真空下使用時,設備使用溫度不得超過800℃。

4、供氣鋼瓶內部氣壓較高,向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。

5、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態(tài);

6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃

7、加熱的實驗時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。

服務支持

1年質保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等)

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