主要特點：

1、射頻電源最大輸出功率：500W（連續(xù)可調），最大反射功率 70W；

2、出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！

3、異形高純石英爐管，大容量反應空間；

4、獨有的旋轉（60檔精調設計）擺振結構，保證物料與等離子體的充分接觸；

5、三路高精度質量流量計（可依要求定制 ），集成混氣系統(tǒng)；

6、獨有進出料設計，保證設備在結構復雜狀態(tài)下的便捷進出料；

7、射頻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、旋轉擺振系統(tǒng)全面集成于一體，7英寸全觸屏操作，操作便捷、直觀；

8、可保存六組工藝參數(shù)，隨時調??；

9、實驗數(shù)據(jù)可自動截圖，并支持USB接口導出。

型號

電氣規(guī)格

AC220V/1.5KW

設備尺寸

W1300mm×H1250mm×D760mm；

Φ120*L300mm（可定制，管內焊接三組攪拌擋板），非射頻區(qū)管徑：φ60mm；

翻轉速度

0.1～6轉/min（無極調速）；

翻轉傾角

-3°～+3° 最大傾倒角度30°

反應腔壓力

5~80pa

法蘭結構

航空鋁快開模式；

電動推桿功率

50W

RF 電源

輸出功率10～500W 任意連續(xù)可調，射頻頻率: 13.56MHz ±0.005% ，全自動匹配；

真空測試

數(shù)字真空計獲取裝置；

真空獲取

NBD-4C機械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m3/h；

供氣系統(tǒng)

質量流量控制器（量程及標定可定制）精度：±1%F.S；響應時間：1-4秒；

設備細節(jié)

部分界面

控制系統(tǒng)

凈重

約320KG

設備使用注意事項

1. 射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配；
2. 若采用手動匹配，將功率設到60W左右，手動調諧匹配合適時，再增加功率
3. 工作時，需改變腔體的氣流量，先要要把功率設置為零，不能直接按“OFF”按鍵關閉射頻輸出。

服務支持

一年有限保修，提供終身支持；