1200℃CVD一體機

發(fā)布時間: 2021-04-20 13:06:49    瀏覽次數(shù):2071

設(shè)備簡介:

NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進制造工藝,從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)根據(jù)人體安全的角度設(shè)計,控制系統(tǒng)采用先進的PLC+觸摸屏操控系統(tǒng),操作更加簡單方便。溫度控制采用先進的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。

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1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化,使試驗方便快捷直觀。

2.配置浮子流量計或質(zhì)量流量計混氣氣路,可以單獨設(shè)置氣體流量。

3.精確PID程序多段控制,實現(xiàn)不同工藝多段溫度時間監(jiān)控。

4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果極佳。

5.配備機械泵或分子真空泵,可以實現(xiàn)不同的真空條件。

產(chǎn)品型號

NBD-CVDO1200

爐管直徑

Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自選)

工作溫度

≤1100

溫區(qū)選擇

單溫區(qū)

雙溫區(qū)

三溫區(qū)

加熱區(qū)尺寸

440mm

200mm + 200mm

200mm + 400mm + 200mm

電器規(guī)格

AC220V 4KW

AC220V 5KW

AC220V 8KW

升溫速率

建議 10/min

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄;
4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正。

氣體系統(tǒng)(可選購)

流量計類型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

進氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復(fù)合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

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