PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）
發(fā)布時(shí)間： 2022-04-15 14:22:11 瀏覽次數(shù)：3273
設(shè)備簡介：
該P(yáng)ECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實(shí)驗(yàn)提供包含有毒液體在內(nèi)的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應(yīng)和材料表面的化學(xué)反應(yīng)過程，并在適當(dāng)?shù)臏囟认鲁练e薄膜。
| 設(shè)備簡介：
該P(yáng)ECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實(shí)驗(yàn)提供包含有毒液體在內(nèi)的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應(yīng)和材料表面的化學(xué)反應(yīng)過程，并在適當(dāng)?shù)臏囟认鲁练e薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及極佳的臺(tái)階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
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 | 主要特點(diǎn)： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應(yīng)氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 4. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5. 設(shè)備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！ | |||
| 設(shè)備型號(hào) | NBD-PE1200-80TID2FY | |||
供電電源 | AC220V 50/60HZ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
| 觸摸屏尺寸 | 7英寸 | |||
射頻頻率 | 13.56MHz | |||
射頻功率輸出范圍 | 0-200W | |||
| 沉積加熱額定功率 | 4.0KW | |||
| 蒸發(fā)器額定功率 | 1.3KW | |||
| 伴熱帶額定功率 | 75W | |||
| 傳感器類型 | K型熱電偶 | |||
| 沉積最高溫度 | 1200℃ | |||
沉積額定溫度 | 1150℃ | |||
蒸發(fā)器額定溫度 | 400℃ | |||
伴熱帶額定溫度 | 150℃ | |||
推薦升溫速率 | ≤10/min | |||
沉積管徑 | Φ80mm*1200mm | |||
| 蒸發(fā)源管徑 | Φ50mm*80mm | |||
| 蒸發(fā)源有效容積 | 50ml | |||
| PECVD 外形尺寸 | 長1500×高1280×深760mm | |||
| 蒸發(fā)器外形尺寸 | 長410×高350×深210mm | |||
| 氣氛條件 | 混合氣、真空等 | |||
| 機(jī)械泵抽氣速率 | 16 立方米每小時(shí) | |||
爐腔極限真空度 | 3~5Pa | |||
法蘭結(jié)構(gòu) | 航空鋁快開模式； | |||
操作系統(tǒng) | NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機(jī)對(duì)話模式； | |||
真空測(cè)試 | 數(shù)字真空計(jì)獲取裝置； | |||
設(shè)備細(xì)節(jié) |
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控制系統(tǒng) |  | 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | ||
部分界面 |
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凈重 | 約300KG | |||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1.射頻匹配器一般處于自動(dòng)匹配狀態(tài)，一般功率需達(dá)到50W以上才能匹配； 2.若采用手動(dòng)匹配，將功率設(shè)到60W左右，手動(dòng)調(diào)諧匹配合適時(shí)，再增加功率 | |||
服務(wù)支持 | 一年有限保修，提供終身支持； | |||
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