PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）
發(fā)布時間： 2022-04-15 22:22:11 瀏覽次數(shù)：3507
設備簡介：
該PECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實驗提供包含有毒液體在內(nèi)的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應和材料表面的化學反應過程，并在適當?shù)臏囟认鲁练e薄膜。
| 設備簡介：
該PECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實驗提供包含有毒液體在內(nèi)的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應和材料表面的化學反應過程，并在適當?shù)臏囟认鲁练e薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學性能、良好的襯底附著性以及極佳的臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用。
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 | 主要特點： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 4. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5. 設備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！ | |||
| 設備型號 | NBD-PE1200-80TID2FY | |||
供電電源 | AC220V 50/60HZ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
| 觸摸屏尺寸 | 7英寸 | |||
射頻頻率 | 13.56MHz | |||
射頻功率輸出范圍 | 0-200W | |||
| 沉積加熱額定功率 | 4.0KW | |||
| 蒸發(fā)器額定功率 | 1.3KW | |||
| 伴熱帶額定功率 | 75W | |||
| 傳感器類型 | K型熱電偶 | |||
| 沉積最高溫度 | 1200℃ | |||
沉積額定溫度 | 1150℃ | |||
蒸發(fā)器額定溫度 | 400℃ | |||
伴熱帶額定溫度 | 150℃ | |||
推薦升溫速率 | ≤10/min | |||
沉積管徑 | Φ80mm*1200mm | |||
| 蒸發(fā)源管徑 | Φ50mm*80mm | |||
| 蒸發(fā)源有效容積 | 50ml | |||
| PECVD 外形尺寸 | 長1500×高1280×深760mm | |||
| 蒸發(fā)器外形尺寸 | 長410×高350×深210mm | |||
| 氣氛條件 | 混合氣、真空等 | |||
| 機械泵抽氣速率 | 16 立方米每小時 | |||
爐腔極限真空度 | 3~5Pa | |||
法蘭結(jié)構(gòu) | 航空鋁快開模式； | |||
操作系統(tǒng) | NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機對話模式； | |||
真空測試 | 數(shù)字真空計獲取裝置； | |||
設備細節(jié) |
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控制系統(tǒng) |  | 1、燒結(jié)工藝曲線設置：動態(tài)顯示設置曲線，設備燒結(jié)可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導出實現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正。 | ||
部分界面 |
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凈重 | 約300KG | |||
設備使用注意事項 | 1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配； 2.若采用手動匹配，將功率設到60W左右，手動調(diào)諧匹配合適時，再增加功率 | |||
服務支持 | 一年有限保修，提供終身支持； | |||
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