液氣CVD一體機(jī)

發(fā)布時(shí)間: 2022-10-29 17:01:19    瀏覽次數(shù):1796

設(shè)備簡(jiǎn)介:

諾巴迪液氣CVD一體機(jī),通過(guò)高精度氧分析儀確保無(wú)氧工作環(huán)境。物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的石英腔內(nèi),能夠在穩(wěn)定均勻的溫場(chǎng)內(nèi),最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸。獨(dú)有懸掛式氣相發(fā)生器,能夠在工作腔擺振的同時(shí),始終保持水平穩(wěn)定輸出。多路質(zhì)量流量控制器,可精確控制氣體流量。

高密封性連接工藝,確??扇夹詺怏w及有毒有害氣體無(wú)任何泄露,高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍。易燃易爆及有毒有害氣體檢測(cè)儀與設(shè)備聯(lián)動(dòng),可及時(shí)獲取實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施,同時(shí),兩個(gè)報(bào)警儀在超出設(shè)定警戒值時(shí)發(fā)出預(yù)警提示。工作腔室排出的尾氣通過(guò)尾氣處理罐進(jìn)行無(wú)害化處理。


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1.通過(guò)高精度氧分析儀確保無(wú)氧工作環(huán)境;

2.物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的異形石英腔內(nèi),能夠在穩(wěn)定均勻的溫場(chǎng)內(nèi),最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸;

3.獨(dú)有懸掛式氣相發(fā)生器,能夠在工作腔擺振的同時(shí),始終保持水平穩(wěn)定輸出;

4.多路質(zhì)量流量控制器,可精確控制氣體流量;

5.高密封性連接工藝,確保可燃性氣體及有毒有害氣體無(wú)任何泄露,高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍;

6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測(cè)儀與設(shè)備聯(lián)動(dòng),可及時(shí)獲取實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施,同時(shí),兩個(gè)報(bào)警儀在超出設(shè)定警戒值時(shí)發(fā)出預(yù)警提示;

7.工作腔室排出的尾氣通過(guò)尾氣處理罐進(jìn)行無(wú)害化處理。

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N

供電電源

三相380V 50HZ

控溫精度

±1℃

額定功率8KW
測(cè)溫元件類(lèi)型

K型熱電偶 250mm

Tmax

1100℃

加熱溫區(qū)尺寸

φ150*430mm

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管容積

5L

樣品有效容積

500ml

傾斜角度

-20度(出料)~3度(進(jìn)料)

爐管轉(zhuǎn)速

0.1~12.6轉(zhuǎn)/每分鐘

爐體尺寸

長(zhǎng)1550×深830×高1360mm(含乙炔報(bào)警器2160mm

推薦升溫速率

10℃/min

重量

約260KG

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄;
4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正
。


弱腐蝕性氣體預(yù)熱器

(可選配)




通體采用316L材料,對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿(mǎn)足特殊的工藝需求,最高溫度達(dá)600℃。

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;

2、爐膛連續(xù)使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正?,F(xiàn)象,不影響設(shè)備的正常使用;

* 支持非標(biāo)定做,更多型號(hào),歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746

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