設備特點

1、六溫三控加熱系統(tǒng)，溫場分布更均勻；
2、高純硅碳棒加熱，最高工作溫度1380℃，可滿足更多CVD領域需求；
3、六路質量流量計(MFC)氣體控制，同時設置有真空系統(tǒng)配合進出氣系統(tǒng)使用，可以實現(xiàn)自動抽真空-補氣循環(huán)流程，以最快的速度排空腔體內部的氧氣；
4、電動開蓋系統(tǒng)，方便爐管的維護及更換；
5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據(jù)客戶需要選擇不同容積的針管進行試樣的注射；同時可以跟隨工藝曲線設置注射泵的開關，無需后期的人為操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自動化控制系統(tǒng)集成了設備上所有的控制，包含加熱和各種動作都能夠在屏幕上進行操作，并且能夠跟隨工藝曲線設置不同的進氣和流量的設置，可以實現(xiàn)不同工藝下的快速組合，并且支持數(shù)據(jù)導出及預存和調用配方功能。

產品型號

NBD-T1500-200T66D6Z

供電電源

三相380V 50HZ

控溫精度

±1℃

額定功率

36KW

傳感器類型

S型熱電偶

極限溫度

1500℃

1380℃

高純硅碳棒

260*240*1430mm

反應燒結碳化硅

5-10ml/小時

推薦升溫速率

內徑φ180mm，壁厚10mm，長2150mm

長3700×深1000×高1420mm

電動開合 最大角度45度

物料收集系統(tǒng)：

1、通過不銹鋼波紋管與碳化硅爐管相連，有效保護高溫工作中的碳化硅爐管；
2、高純石英觀察窗，可隨時觀察物料收集狀態(tài)；
3、手動閥和電磁閥雙重保障，確保出氣控制穩(wěn)定運行；
4、收集腔室內部配置多孔收集板，可提高物料收集效率；
5、收集系統(tǒng)通過手輪調節(jié)與爐管的距離，并可通過旋轉與爐體保持一定角度，方便物料的取出。

高精密注射泵：

采用4.3英寸彩色觸摸液晶屏，方便快速設置參數(shù)，多個指示燈清晰確認其工作狀態(tài)，支持多種注射器型號選擇，可適應不同實驗流量需求，高精度控制，并設有軟硬保護機制，支持注射、抽取等四種工作模式。
內置RS485通訊，支持Modbus協(xié)議，寬范圍電源輸入，適應各種場合。單通道、雙通道、多通道可供選擇。

六路質量流量控制器（6MFC）混氣系統(tǒng)

約660KG

服務支持

1年質保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如石英制品和密封圈等）